12cm rf离子源

专为改进的长期离子束沉积过程生产

提高长不间断的反应过程的性能和质量，如离子束辅助或离子束沉积的高控制光学涂层，具有Veeco 12cm RF离子源。它具有业界唯一的丝绒RF中和性，可提供低维护，并实现长生产运行。12cm的RF离子源是使用100％氩气，氧气或其他反应气体的方法的理想选择。