产品新闻| 2018年1月29日
Veeco仪器公司(纳斯达克代码:VECO)今天宣布，EXALOS已经订购了一套推进®GaN金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统，用于高性能宽带超发光二极管(SLEDs)的研究和开发。总部位于瑞士的EXALOS公司预计将在2018年第三季度收到这套推进系统。
EXALOS首席执行官Christian Velez表示:“Veeco的推进平台具有独特的资质，可以提供最强大的工艺灵活性和最佳的结果，同时保持最低的拥有成本。”“这个平台的加入将使我们的创新和成功达到新的水平。”
超发光led是一种半导体器件，通过电流注入以高度定向的光束发射宽带光。SLEDs是led和半导体激光二极管的混合物，前者从表面向所有方向发射宽带光，后者从具有明确的激光束的波导发射窄带光。sled用于医疗和工业成像、运动控制探测器、导航、光学传感和计量应用。
Veeco MOCVD运营高级副总裁兼总经理Peo Hansson博士表示:“EXALOS拥有超过40万套雪橇设备的出货量和强大的技术专长，是该领域公认的领导者。”“我们期待与他们密切合作，因为我们的推进平台的能力，服务于广泛的专业应用，补充他们的技术和先进的产品路线图。”
Veeco的推进GaN MOCVD系统旨在提供广泛的工艺窗口和灵活的配置，从而处理从功率/射频到先进的led(包括微led、激光二极管、uvled和SLEDs)等广泛的GaN应用。该系统在单片模式下处理6英寸和8英寸晶圆，以及在小批量模式下处理2至4英寸晶圆方面非常通用。推进反应器基于Veeco的TurboDisc®技术，包括新的IsoFlange™和SymmHeat™突破性技术，在整个晶圆上提供均匀的层流和均匀的温度分布。
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关于Veeco
Veeco(纳斯达克代码:VECO)是一家领先的创新半导体工艺设备制造商。我们经过验证的MOCVD、光刻、激光退火、离子束和单片蚀刻和清洁技术在生产用于固态照明和显示器的led以及先进半导体器件的制造中发挥着不可或缺的作用。Veeco的设备设计旨在最大化性能、产量和拥有成本，在所有这些服务市场保持技术领先地位。vwin官方网站欲了解更多Veeco的创新设备和服务，请访问www.theljp.com。
关于EXALOS
EXALOS AG是ISO 9001:2015认证的公司，正在开发和销售波长vw德赢手机客户端从750 nm到1700 nm的近红外SLEDs和扫描源，用于生物医学成像、光纤陀螺仪、测试设备和传感器行业，以及波长从405 nm到680 nm的可见SLEDs和激光二极管，用于新型显示、机器视觉、广域照明等应用。EXALOS总部位于瑞士Schlieren。更多信息请访问www.exalos.com。
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