Plainview，N.Y .--（商业资讯） - 2月。2013年5日 - Veeco Instruments Inc.（纳斯达克：Veco）今天宣布欧洲顶级技术大学之一ÉcolePolytechniqueFédéraledeLausanne（EPFL）订购了Nexus®离子谱蚀刻（IBE）系统。该系统将用于瑞士洛桑现场的微型和纳米制造中的最先进的研发项目。Veeco的IBE系统用于蚀刻精确，复杂的特征，可用于离散微电子器件和组件的高产量生产。
EPFL的业务总监PhilippeFlückiger博士“Veeco已被称为几十年来IBE技术的顶级供应商，因此这是我们的明确选择。离子束蚀刻在我们的微型和纳米制造中是重要的，因为我们需要精确蚀刻难以蚀刻蚀刻材料和当今新兴应用中的多层堆叠。Veeco的技术还为我们提供了一种精确程度，在定义不适用于其他干蚀刻技术的结构。“
Vivek Vohra, Veeco’s Vice President and General Manager, commented, “Given the growing trend of thin film based sensors being used in various consumer applications, we are very excited that our IBE technology has been selected by a new customer – EPFL – which is a top European research institution. We look forward to supporting their innovative research and industry collaborations.” Veeco’s IBE and other technologies are used globally by leading customers for etching/depositing various thin films to produce micro electro mechanical systems (MEMS) and magnetic sensors.
关于EPFL.
EPFL是欧洲最具国际化学技术大学，从120多个民族接受学生，教授和员工。EPFL的活动支持伙伴关系，行业联络，初创企业和技术转让。有关EPFL的更多信息，请在其网站上找到http://www.epfl.ch.。
关于Veeco.
Veeco的过程设备解决方案使得LED，电力电子，硬盘驱动器，MEMS和无线芯片的制造。我们是MOCVD，MBE，离子梁等先进薄膜工艺技术的市场领导者。我们的高性能系统推动了能源效率，消费电子和网络存储的创新，并让我们的客户最大限度地提高了生产率并实现了更低的所有权成本。有关我们公司，产品和全球服务和支持的信息，请访vw德赢手机客户端问www.theljp.com.。
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资料来源：Veeco Instruments Inc.
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