工业最高吞吐量系统的精密光学薄膜应用
2012年4月16日，纽约普PLAINVIEW (BUSINESS WIRE)——在比利时布鲁塞尔举行的SPIE光电欧洲贸易展上，Veeco仪器公司(纳斯达克代码:VECO)今天介绍了一款新的光电产品SPECTOR-HT(TM)离子束沉积(IBD)系统。用于光学市场的薄膜涂层，SPECTOR- ht与前几代SPECTOR相比，吞吐量提高了400%，目标利用率提高了300%，材料均匀性提高了50%。此外，新系统提供了卓越的薄膜质量，并为各种光学应用提供了一个低成本的制造平台，包括精密光学、激光、生命科学、生物医学设备和电信。
Veeco离子束设备执行副总裁Robert P. Oates评论道:“Veeco在全球安装了200多个系统，是光学行业公认的离子束沉积涂层行业领导者。与物理气相沉积(PVD)、蒸发涂层或离子辅助沉积等光学沉积技术相比，新的SPECTOR-HT系统具有无与伦比的吞吐量优势，是一个具有成本效益的平台。”
SPECTOR-HT是业内首个全自动离子束沉积系统，可实现与PVD相当的加速沉积速率，同时保持高质量、最佳的薄膜，以满足具有挑战性的生产要求。它提供了增加沉积速率的地段大小，高达两倍于前一代SPECTOR。
有关SPECTOR-HT的更多信息，请访问我们的SPIE展位#G323或访问www.theljp.com/spectorht．
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