在CNSE世界级奥尔巴尼纳米技术综合体提供参考计量
奥尔巴尼，N.Y.＆Plainview，N.Y .--（商业资讯） - JUL。2009年6日 - Veeco Instruments Inc.（纳斯达克：veco）是半导体行业的先进三维AFM计量设备的领先供应商，今天宣布其Insight™3D原子力显微镜已被Sematech接受。Insight 3DAFM将为关键尺寸（CD），覆盖和轮廓提供非破坏性的参考计量，以及下一代EUVL抵抗特征的三维表征。国际Sematech制造业倡议（ISMI）Metrology计划位于纳米级科学和工程学院（CNSE）奥尔巴尼纳米技术综合体，是世界上最先进的研究企业。
“32纳米节点和以下最大的计量界限之一是准确性，因为它适用于CD和覆盖测量，”Sematech Metrology计划经理John Allgair说。“Insight 3DAFM工具将解决此问题，并将作为我们整体CD计量策略的一部分，为CD-SEM和散射测量法提供参考计量。此外，洞察力将用于提供高级EUVL抗蚀剂结构的三维表征。“
“The addition of Veeco’s InSight 3DAFM at CNSE’s Albany NanoTech provides further capabilities that will enhance leading-edge research and development to accelerate the introduction of EUVL for the manufacturing of innovative nanoelectronics devices,” said Richard Brilla, CNSE Vice President for Strategy, Alliances and Consortia. “Veeco is also a great demonstration of the world-class network of New York companies providing support for the SEMATECH-CNSE partnership, which is enabling advances in nanoscale research, development and commercialization that are critical to industry.”
“Veeco的AFM业务部总经理David Rossi评论说：”Veeco很高兴接受了Sematech的身材的行业领袖。“凭借其独特，三维，准确的320纳米测量能力，洞察力使半导体制造商能够降低先进技术节点的过程开发时间和速度到金钱。此外，Insight的无损真实概况计量，具有TEM级配置谱准确性，允许制造商通过替换TEM横截面来实现较低的开发成本。这是北美，欧洲和亚洲的另一个成功的安装，在过程开发和生产环境中证明了洞察力3DAFM的能力和性能。“
关于Insight 3DAFM.
Insight 3DAFM提供了临界45纳米和32纳米半导体特征的非破坏性，高分辨率的三维测量，以确定关键层上的CD，侧壁角度和线宽粗糙度，包括栅极和FinFET结构。该系统包含一种新的高精度X-Y级，具有提高的精度和具有高精度激光自动聚焦能力的独特模式识别系统。此外，新的AFM控制技术和专有探针设计使得能够改善精度，每个测量部位的成本和更小的特征测量。最后，系统可靠性显着提高，以满足基于45nm的生产的计量学的需求。有关洞察力的更多信息，可以找到www.theljp.com/insight3dafm.。
关于Veeco.
Veeco Instruments Inc.为HB-LED，太阳能，数据存储，半导体，科学研究和工业市场的客户提供支持解决方案。vwin官方网站我们在我们的三个业务中拥有领先的技术职位：LED和太阳能处理设备，数据存储过程设备和计量仪器。Veeco的制造和工程设施位于纽约，新泽西州，加利福尼亚州，科罗拉多州，亚利桑那州，明尼苏达州和马萨诸塞州。全球销售和服务办公室位于美国，欧洲，日本和APAC。有关更多信息，请访问www / veeco.com.。
关于Sematech.
超过20年，sematech®（www.sematech.org.）已经设定了全球方向，使灵活的合作，并将战略研发趋向于制造。今天，我们继续加速我们的纳米电子和新兴技术合作伙伴的下一个技术革命。
关于ISMI.
ISMI是世界各大半导体制造商的全球联盟，致力于降低每晶圆的成本，并通过专注于制造效率的合作计划来降低每次死亡的成本。ISMI目前的计划组合包括ESH，下一代工厂，450mm，持续改进和计量。ISMI是Sematech的全资子公司（www.sematech.org.）。
关于CNSE.
Ualbany CNSE是世界上第一位致力于在纳米科学，纳米工程，纳米科学和纳米经济学的新兴学科的教育，研究，开发和部署。CNSE的Albany Nanotech Complex是世界上任何大学的最先进的研究企业。拥有超过50亿美元的高科技投资，800,000平方英尺的复杂吸引了来自世界各地的企业合作伙伴，为学生提供了一种独一无二的学术体验。Ualbany Nanocollege拥有唯一完全集成，300毫米的晶圆，计算机芯片先导原型和演示线，以内的80,000平方英尺的级别洁净室。来自CNSE的Albany Nanotech的公司，包括IBS，AMD，Globalfoundfoundries，Sematech，东芝，应用材料，东京电子，ASML，Vistec光刻和Atotech，超过2,500多家科学家，研究人员，工程师，学生和教师工作。有关更多信息，请访问www.cnse.albany.edu.。
在此新闻发布讨论期望或以其他方面发表对未来的陈述的范围内，此类陈述是前瞻性的，受到许多风险和不确定性的影响，可能导致实际结果与所做的陈述有所不同。这些因素包括在2008年12月31日止年度和截至2008年12月31日止年度的审议和分析和分析部分，并在我们随后的季度报告的情况下，关于10-Q的季度报告，表格8的季度报告中讨论的风险-k和新闻稿。Veeco不承担更新任何前瞻性陈述以在此类陈述之后反映未来事件或情况的任何义务。
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资料来源：Veeco Instruments Inc.
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