纽约州Plainview，（美国商业资讯） - 2008年4月29日 - Veeco Instruments Inc.（NASDAQ：VECO），今天宣布，其新洞察力（TM）3D自动化原子力显微镜（3DAFM）平台已被一个接受关键的全球半导体客户。洞察力是唯一可用的计量系统，具有非破坏性，高分辨率的三维（3D）测量所需的准确性和精度，可对关键的45nm和32nm半导体特征进行测量，并与速度合格作为真正的Fab工具。VEECO的Insight 3DAFM专门设计用于解决生产环境中的关键维度（CD），深度和化学机械平面化（CMP）计量。
Mark Munch，Ph.D.，Veeco Metolology，评论，“我们很高兴我们的第一个印第历客户，一个被称为技术创新者的客户，已经签署了在生产中运行的工具环境三个月。吞吐量三次（每小时30左右）和我们以前的AFM的测量准确性和精度的两倍，Veeco的Insight代表了半导体3D计量的全新方法。“
Paul Clayton补充说：“ Insight是当今市场上唯一的工具，可提供在线，准确，无损的3D信息，以推动流程开发和制造坡道时代的较短，从而提高客户的拥有成本并降低其制造风险。”，VEECO汽车AFM业务部门副总裁。“传统的在线计量技术在45nm及以下测量CD的能力受到严重限制。”
关于Insight 3DAFM
Insight 3DAFM具有创新的计量平台，旨在满足45和32NM半导体计量应用的严格要求，例如CD，侧壁角度和关键层上的线宽度粗糙度，包括GATE和FINFET结构。该系统包含一个新的高精度X-Y阶段，具有提高的精度和具有高精度激光自动对焦能力的独特模式识别系统。此外，新的AFM控制技术和专有探针设计可以提高精度，较低的每个测量位点成本和较小的特征测量。最后，系统可靠性大大提高，以满足基于45nm的基于生产的计量的需求。有关Insight的更多信息，请访问www.theljp.com/insight3dafm。
关于Veeco.
Veeco Instruments Inc.为HB-LED，太阳能，数据存储，半导体，科学研究和工业市场的客户提供支持解决方案。vwin官方网站我们在三个业务中拥有领先的技术职位：LED和太阳能过程设备，数据存储过程设备和计量仪器。Veeco的制造和工程设施位于纽约，新泽西州，加利福尼亚，科罗拉多州，亚利桑那州和明尼苏达州。全球销售和服务办公室位于美国，欧洲，日本和APAC。//www.theljp.com/
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