The combination of Veeco’s advanced sensor technology that tracks a wider number of tool parameters with Rudolph’s best-in-class fault detection software platform creates a unique maintenance solution that enables customers to reduce unscheduled system downtime, proactively manage system maintenance and detect early failure problems before they occur.
基于客户反馈和关于VeecoNexus®离子梁蚀刻工具的广泛现场数据，Veeco的预测分析解决方案从晶圆废料的减少，未划分的工具停机和材料成本降低了超过15％的维护成本。
“我们已经证明了将服务结构从计划改变为预测维护的能力，这将对我们在充分实施时对客户的运营效率有利影响，”Veeco服务产品和营销副总裁Guy Shechter说。“能够预测机械故障，维护调度和关键组件劣化直接转化为改进的工具性能，增加正常运行时间，最重要的是整体所有权成本降低。”
Veeco与Rudolph形成了合作，开发与Veeco现有系统软件一致的技术特定的解决方案，以增强蚀刻和沉积工具性能，并为Veeco的全球安装基础提供升级。Veeco预测分析产品基于Rudolph最近推出的设备Sentinel™软件平台，该平台提供了一个新的智能仪表板平台，允许客户将设备数据无缝地转换为可操作的操作智能。
“As a global leader in process control and data analysis systems and software for semiconductor and advanced packaging manufacturers, we are excited about partnering with Veeco to provide a revolutionary software platform,” said Thomas Sonderman, Vice President and General Manager of Rudolph’s Software Business Unit. “Together, we created a solution that is fully integrated to Veeco’s systems and has achieved superior early failure detection capabilities compared to previous platforms.”
关于Veeco.
Veeco的过程设备解决方案使得LED，显示器，电力电子设备，复合半导体，硬盘驱动器，半导体，MEMS和无线芯片制造。我们是MOCVD，MBE，离子束，湿蚀刻单晶片加工等先进薄膜工艺技术的领导者。我们的高性能系统推动了能源效率，消费电子和网络存储的创新，并让我们的客户最大限度地提高了生产率并实现了更低的所有权成本。有关我们公司，产品和全球服务和支持的信息，请访vw德赢手机客户端问www.theljp.com。
关于Rudolph Technologies.
Rudolph Technologies，Inc。是缺陷检查，光刻，过程控制计量和过程控制软件的设计，开发，制造和支持的领导者，包括半导体和先进的包装设备制造商全世界。Rudolph在整个Fab中提供全面的解决方案，其专有产品的家庭提供了关键的产量增强信息，使微电子器件制造商能够降低其设备市场的成本和时间。Rudolph总部位于马萨诸塞州威尔明顿，拥有全球销售和服务组织的客户。可以在公司网站www.rudolphtech.com上找到其他信息。vw德赢手机客户端
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