VEECO引入GenXplor分子束外延系统
产品新闻|2013年8月19日
行业第一个用于复合半导体研发市场的完全集成的MBE系统
纽约州普莱恩维尤（Plainview） - （商业资讯） - aug。19，2013 - Veeco Instruments Inc.（NASDAQ：VECO）今天介绍了GenXplor™分子束外延（MBE）沉积系统该行业是复合半导体研发市场的第一个完全集成的MBE系统。GenXPlor在直径3英寸的底物上创建高质量的外延层，非常适合对包括GAAS，氮化物和氧化物在内的各种材料进行最先进的研究。
Veeco的新型GenXplor R＆D MBE系统（照片：商业电讯）
Veeco副总裁兼总经理Jim Northup评论说：“复合半导体研发社区要求建立一个更实惠，灵活，易于使用的MBE系统，Veeco与GenXplor交付。”“我们将Veeco的行业领先的MBE技术重新包装成一种新颖的'多合一'设计，将反应堆和电子设备在单一框架上结合在一起。它将改变研究人员使用MBE的方式。”
GenXPlor使用Veeco的Proven Gen10™生长室设计，并具有无与伦比的工艺柔韧性，非常适合材料研究，例如紫外线LED，高效太阳能电池和高温超导体。其高效的单帧设计将所有真空硬件与车载电子设备结合在一起，比其他MBE系统小40％，从而节省了宝贵的实验室空间。由于手动系统集成在单个帧上，因此安装时间缩短。GenXplor的开放架构设计还提高了易用性，为积液细胞提供了方便的访问，并且与其他MBE系统相比，可更轻松的可用性。当加上Veeco最近引入的可伸缩源时，GenXPlor系统代表了氧化物材料研究中最新的。
为了认识到中国在MBE研究领域的影响力和重要性的日益增长的影响力，Veeco在本周在上海举行的中国MBE会议上启动了GenXplor。有关GenXplor的更多信息，请在中国MBE会议上访问我们或去www.theljp.com/genxplor。
关于Veeco
Veeco的工艺设备解决方案可以生产LED，电力电子，硬盘驱动器，MEMS和无线芯片。我们是MOCVD，MBE，离子光束和其他先进的薄膜过程技术的市场领导者。我们的高性能系统推动了能源效率，消费电子和网络存储方面的创新，使我们的客户能够最大程度地提高生产率并实现较低的所有权。有关我们公司，产品和全球服务和支持的信息，请访vw德赢手机客户端问www.theljp.com。
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资料来源：Veeco Instruments Inc.
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