台湾半导体研究所选择的VEECO MOCVD系统用于高级研发和技术和RF应用的技术协作

新闻|2022年6月8日

Plainview, N.Y. — Veeco Instruments Inc. (NASDAQ: VECO) today announced that the Taiwan Semiconductor Research Institute, National Applied Research Laboratories (TSRI, Narlabs) has selected Veeco’s Propel® R&D Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) System for advanced development and collaboration related to gallium nitride (GaN)-based power and RF devices. The single wafer Propel platform is ideal for high volume manufacturing and 300mm capabilities, as well as R&D applications. This Propel R&D system has been installed in TSRI’s Hsinchu, Taiwan laboratory. It enables a joint collaborative effort to drive technology innovations, as well as develop and demonstrate technical capabilities in the emerging GaN markets. The joint effort and collaboration accelerate wide-bandgap compound semiconductor technology to high volume and low-cost applications on 200 and 300mm substrates.

TSRI副总监Chang-hong Shen博士评论说:“ VEECO的推进研发系统具有独特的资格,可以提供动力和RF设备的高级发展所需的性能和灵活性。”“我们很高兴能在我们的设施中运行这种研发系统,并期待在未来几年中获得Veeco团队的支持。”

Veeco的Propel GAN MOCVD系统专为电源和RF应用而设计。该系统以单磁反应堆平台为特色,为生产高效的功率和RF设备的高质量GAN膜沉积。单磁反应堆基于Veeco的TurboDisc®技术,包括ISOFLANGE™和SYMMHEAT™突破性技术,这些技术提供了整个晶圆的均匀层流和均匀的温度曲线。

产品线管理高级副总裁Adrian Devasahayam博士说:“我们很高兴通过TSRI选择我们的MOCVD系统来帮助开发其高级功率和RF应用程序。”“我们现在在TSRI的工厂安装了多种技术,我们期待着帮助他们最大化平台的价值和技术协作的机会。”

关于Veeco
Veeco(NASDAQ:VECO)是半导体工艺设备的创新制造商。我们经过验证的离子光束,激光退火,光刻,MOCVD和单晶片蚀刻和清洁技术在高级半导体设备的制造和包装中起着不可或缺的作用。凭借旨在优化性能,产量和拥有成本的设备,Veeco在我们服务的市场中占据领先的技术职位。vwin官方网站要了解有关Veeco的系统和服务产品的更多信息,请访问www.theljp.com。

关于台湾半导体研究所
国家应用研究实验室(NARLABS)下的台湾半导体研究所(TSRI)是台湾相关研究领域的综合研究环境。为了跟上国际技术趋势,TSRI利用了芯片设计和半导体制造的优势,以不断完善行业,学术和研究领域提供的研究和服务。TSRI旨在为半导体设备,电路和系统集成提供全面的验证服务,并为半导体制造,包装和测试,集成电路设计,知识属性核心和系统集成创建开放的信息和服务平台。在https://www.tsri.org.tw/en/上了解更多信息。

在本新闻发布讨论期望或以其他方式发表有关未来的陈述的范围内,此类陈述是前瞻性的,并且会受到许多风险和不确定性的影响,这些风险可能导致实际结果与所做的陈述实质性差异。These factors include the risks discussed in the Business Description and Management’s Discussion and Analysis sections of Veeco’s Annual Report on Form 10-K for the year ended December 31, 2021 and in our subsequent quarterly reports on Form 10-Q, current reports on Form 8-K and press releases. Veeco does not undertake any obligation to update any forward-looking statements to reflect future events or circumstances after the date of such statements.

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VEECO联系人
媒体:凯文·朗|(516)714-3978 |klong@veeco.com

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